ITO 相关废料形态多样，烧结废靶块、研磨抛光粉、切削边角料、溅射靶材背板附着物，回收处理方案各不相同。整块废靶致密度高，酸浸反应速率慢，必须经过破碎、细磨，增大比表面积才能提升浸出效率；抛光粉粒度细，比表面积大，浸出速度快，但粉料极易漂浮，浸出时要控制搅拌强度，防止随尾气、溢流流失。带金属背衬的 ITO 靶，回收前优先拆解分离背板，常见钼、铜基材，若直接一起浸出，大量基体金属进入溶液，增加后续除杂负担，抬高药剂消耗。溅射产生的黑渣、附着在腔体上的靶材残渣，常混有油脂、真空润滑油、腔体杂质，需要先焙烧除油，去除有机杂质，避免有机物包裹氧化物，阻碍浸出反应。
不同形态物料建议分开批次处理，大块靶材适合真空还原工艺，粉料更适配湿法萃取流程。回收过程同步关注锡组分富集，铟锡有效分离才能化价值。物料预处理是否到位，直接决定铟锡浸出率与整体回收收益。